0-2000°C ИСПОЛЬЗОВАТЕЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ И ЛИДЕР ОТГРЕВЛЕНИЯ
Запросите бесплатную консультацию Запросите техническую поддержку
Электронная почта
Тел
WhatsApp/WeChat
Свяжитесь с нами
Все продукты настраиваемы, оставьте сообщение немедленно, мы ответим как можно скорее.
Печь RTP (Rapid Annealing) – это трубчатая печь для быстрой термической обработки. Она оснащена кварцевой камерой и вакуумным фланцем, нагревает галогенными лампами, достигая скорости нагрева до 50 °C/с. Благодаря ПИД-регулятору и 30-сегментному программируемому логическому контроллеру, печь специально разработана для отжига подложек полупроводников и солнечных элементов. Эта трубчатая печь для быстрого отжига позволяет проводить быструю термическую обработку образцов в вакууме или атмосферных условиях. Она в основном используется в университетских и промышленных лабораториях для таких задач, как осаждение тонких пленок, быстрый отжиг различных материалов, формирование силицидов, диффузия, кристаллизация и уплотнение.
Технические параметры
| имя | Печь быстрого отжига RTP | ||||
| Размер обработанной пластины: 2 дюйма | Размер обработанной пластины: 4 дюйма | Размер обработанной пластины: 6 дюймов | |||
| Наружный диаметр трубы печи | 100 мм | Наружный диаметр трубы печи | 110~150 мм | Наружный диаметр трубы печи | 180~200 мм |
| Размер зоны нагрева | 200 мм | Размер зоны нагрева | 300 мм | Размер зоны нагрева | 400 мм |
| самая высокая температура | 1000℃ | ||||
| Рабочая температура | ≤900℃ | ||||
| нагревательный элемент | Инфракрасные фонари | ||||
| термопара | N-типа | ||||
| Материал печной трубы | кварц | ||||
| Метод контроля температуры | ПИД-регулирование и самонастройка, интеллектуальное 30-сегментное программируемое управление | ||||
| Защита контроля температуры | Функция защиты от перегрева и поломки термопары | ||||
| скорость нагрева | Рекомендуемая температура: 0~50°C/мин | ||||
| Точность контроля температуры | ±1℃ | ||||
| Количество температурных зон | Единая температурная зона | ||||
| Материал печи | Высокочистое огнеупорное волокно из оксида алюминия | ||||
| Конструкция кожуха печи | Корпус из углеродистой стали, двухслойная оболочка, оснащен системой воздушного охлаждения. | ||||
| Конструкция корпуса печи | Тип открывания слайд | ||||
| Рабочая среда | Атмосферное давление/вакуум/атмосфера | ||||
| рабочий блок питания | 220/380 В, 50 Гц (настраивается по запросу) | ||||
| тюлень | Вакуумный фланец из нержавеющей стали с клапаном и механическим манометром | ||||
| Другие дополнительные конфигурации | Расходомер, вакуумная система, сенсорный экран, пульт дистанционного управления, дисплей компьютера | ||||
Указанные выше параметры могут быть скорректированы в соответствии с требованиями технологического процесса и не должны служить основанием для принятия решения. Преимущественную силу имеют конкретное техническое решение и соглашение.
№ 104, здание 31, промышленный парк по производству оборудования Синьян,
город Чжэнчжоу, провинция Хэнань,
Китай Zhengzhou Protech Technology Co., Ltd.
郑州诺泰科技有限公司
Оставить сообщение
English
简体中文
Français
日本語
بالعربية
한국어
Português
Русский
Español
